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潔淨無塵室簡介規劃
無塵室空調流程圖
FCU + MAF 系統   FCU + PAH 系統 1
     
FCU + PAH 系統 2   FCU + PAH 系統 3
     
FCU + PAH +EAF 系統 1   FCU + PAH 系統 2
     
FCU + HX 系統   FCU + PAH +DEH 系統 1
     
FCU + PAH + DEH 系統 2   AHU + EAF 系統 1
     
AHU 兼處理外氣系統 2   AHU + EAF 系統 1
     
AHU + EAF 系統 2   AHU + RAF 系統
     
潔淨處理架構   空調箱兼處理外氣 1
     
空調箱兼處理外氣 2   空調箱兼處理外氣 3
     
MAU 負責處理外氣 1   MAU 負責處理外氣 2
     
MAU 兼處理回風 1   MAU 兼處理回風 2
     
潔淨室排煙系統    
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