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水電氣(需求)規劃表
PCW(製程冷卻水) UPW(超純水) 自來水 Drain
壓力 流量 水温 壓力 流量 阻抗 壓力 流量 酸排 鹼排 氨排 有機排 HF廢液 一般排
kg/cm2 l/min kg/cm2 l/min Ω kg/cm2 l/day l/min l/min l/min l/min l/min l/min
Power需求 (KVA)
三相 單相 UPS AVR EMP
380V 220V 220V 110V

CDA

(乾淨乾燥的高壓空氣)

壓力 kg/cm2

PV

(真空泵浦系統)

壓力 mmHg
無油 lpm lpm
氬氣 壓力 kg/cm2

PN2

(純氮氣

壓力 kg/cm2
l/min l/min

CDA

(乾淨乾燥的高壓空氣)

壓力 kg/cm2 PH2 壓力 kg/cm2
l/min l/min

200 PPM SiH4/H2

(硅烷在氢气中的混合气)

壓力 kg/cm2 HCL(鹽酸) 壓力 kg/cm2
用量 SCCM 用量 l/min

NH3

(氨)

壓力 kg/cm2 10% GH2/GN2 壓力 kg/cm2
用量 l/min 用量 l/min

Exhaust

(排放氣體)

酸氣排 CMM 有機排 CMM 熱排 CMM
鹼氣排 CMM 一般排 CMM CMM CMM
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