| PCW(製程冷卻水) |
UPW(超純水) |
自來水 |
Drain |
| 壓力 |
流量 |
水温 |
壓力 |
流量 |
阻抗 |
壓力 |
流量 |
酸排 |
鹼排 |
氨排 |
有機排 |
HF廢液 |
一般排 |
| kg/cm2 |
l/min |
℃ |
kg/cm2 |
l/min |
Ω |
kg/cm2 |
l/day |
l/min |
l/min |
l/min |
l/min |
l/min |
l/min |
| Power需求 (KVA) |
| 三相 |
單相 |
UPS |
AVR |
EMP |
| 380V |
220V |
220V |
110V |
|
CDA
(乾淨乾燥的高壓空氣)
|
壓力 |
kg/cm2 |
PV
(真空泵浦系統)
|
壓力 |
mmHg |
| 無油 |
lpm |
量 |
lpm |
| 氬氣 |
壓力 |
kg/cm2 |
PN2
(純氮氣
|
壓力 |
kg/cm2 |
| 量 |
l/min |
量 |
l/min |
|
CDA
(乾淨乾燥的高壓空氣)
|
壓力 |
kg/cm2 |
PH2 |
壓力 |
kg/cm2 |
| 量 |
l/min |
量 |
l/min |
|
200 PPM SiH4/H2
(硅烷在氢气中的混合气)
|
壓力 |
kg/cm2 |
HCL(鹽酸) |
壓力 |
kg/cm2 |
| 用量 |
SCCM |
用量 |
l/min |
|
NH3
(氨)
|
壓力 |
kg/cm2 |
10% GH2/GN2 |
壓力 |
kg/cm2 |
| 用量 |
l/min |
用量 |
l/min |
|
Exhaust
(排放氣體)
|
酸氣排 |
CMM |
有機排 |
CMM |
熱排 |
CMM |
| 鹼氣排 |
CMM |
一般排 |
CMM |
CMM |
CMM |
|
