採取局部排氣暨發氣處理塔來處理廢氣，即在發生源連接排氣導管抽取廢氣，經風管道引至廢氣洗滌塔進行處理，達到環保排放標準後再排放至大氣中。

由於不同的污染物質有不同的處理方式，原則上廢氣處理之流程如下：

取得客戶廢氣基本資料後，經由下列流程後完成整體之廢氣處理設備之設計。風管管材的選擇、風量及壓損計算、風機選擇至洗滌塔之設計等，採取一貫作業，使設計系統能符合客戶製程需求。

處理原理

應用濕式洗滌處理方式將可處理廢氣中0.3-um之微粒狀物，同時也可以去除廢氣中之氣態污染物，其基本原理是利用氣體與液體間的接觸，而去除氣體中的污染物傳送到液體中，然後再將清潔之氣體與被污染的液體分離達到清淨空氣的目的。

氣流中的粒狀污染物與洗滌液接觸後，液滴與液膜擴散附於氣流中的粒子上或者增濕於粒子，使粒子藉著重力、慣性力等作用達到分離去除之目的，氣態污染物質則藉著絮流分子擴散等質量傳送，以及化學反應等現象傳送洗滌液中達到與進入流氣體分離之目的，並可在洗滌液中加入化學物質，以吸收方式控制氣狀臭味物質。

處理方式

廢氣經由充填式洗滌塔和洗滌液進行吸收中和（利用填充物增加接觸表面積），以去除廢氣中之有害微粒物質，廢氣經由填充式洗滌塔，採用氣液逆向吸收方式處理（downward）以霧狀噴灑而下產生小水滴，廢氣則由塔底逆向流達到氣液接觸之目地，此處理方式可冷卻廢氣溫度、氣體調理及顆粒去除，為確保塔內氣體之均勻分佈及氣液之完全接觸，因此採用良好填充濾材應具有疏鬆之表面，較大之自由表面積使氣體、液體體之間停留時間增長，同時填充濾材之選用應有適當的空隙以減少氣體向上升之阻力，減少洗滌塔之壓降力,再經過除霧段處理（mist eliminator）後排入大氣。

處理優點

• 填充物之有效表面積大，質能傳送效率高，接觸去除效果強，構造均勻，孔隙大，減少壓力降以達節省馬達動力之目的。
• 成本價格上較低廉！
• 空間需求小體積質輕，減少整個洗滌塔的重量及空間成本結構堅固耐用，具備有超高堆放高度，而不必特別支架！
• 整個系統可以設計在地面或屋頂不高之處！
• 可去除0.3-1um小粒子，對於1-2um微粒去除效率達99%！