鈦華科技｜無塵室設備、無塵室工程規劃

潔淨無塵室工程系列

無塵室確效A

本公司累積多年的測試經驗，並依據無塵室測試標準程序SOP，提供客戶多向的測試服務

本公司之測試儀器軍經過原廠之校正合格並定期做校正及提供儀器校正報告證明，以符合其準確性。

所以測試完畢後本公司將提供詳細之測試報告書，並代客戶建檔保存作為長期追蹤維繫之參考。

測試項目及使用儀器

測試項目	儀器名稱／廠牌／型式
潔淨度測試	PARTICLE COUNTER / METONE 3400 SERIES
洩漏測試	PARTICLE COUNTER / RION-KM-20 / MET ONE-A2100B
溫／濕度測試	溫／濕度計／VAISALA-HMI 31
無塵室確效B	風速／RION-AM 09S
照度測試	照度計／TES-1330
室壓測試	壓力計／TESTO-DMS 0638.1545
噪音測試	噪音計／TES-1350A

測微粒子測試儀器特點

世界專利之光學設計：Passive Laser Cavity Design-外徑He-Ne-Laser，光源強度穩定-Filter Purge Air 可防光學鏡片汙染-光學系統保固二年，更換維修容易。
七種漆行選擇使用：適用於CLASS 1~100,000等級潔淨室監測
測試粒徑範圍：0.1~0.5μm
最大允許濃度：750.000/ft³
檢測流量：1CFM符合FS209E 規範標準

FED-STD-209測量點面積標準

Sample Location and Number (Unidirectional Airflow)

取樣點必須均勻分佈在取樣面積中
取樣點數必須符合(a)or(b)

(a)SI unit : A/2.32 (m²)
　 Englih unit : A/25(ft²)
　 A 為無塵室面積，適合用在 class 1 ~ 100

(b)SI unit : A*64(10m)0,5 (m²) M : 若 class 1000=M4.5>M=4.5
　 Englih unit : A/(Nc)0.5 (ft²) Nc : 若 class 1000 Nc=1000
　 A 為無塵室面積
　 M及Nc分別為無塵室等級，適合用在class 1000~100000求出值即為需量測點數
　 Ps : 每一區域必須至少量測兩點

Number of Samples Required

每個量測至少測一次
每個區域(Area; Room)至少要有五次取樣資料(Samples)以上

測試項目及使用儀器

Numbers of Locations & Samples Requires Per Cleanroom Area L=Locations=Less of (Area÷25 or Area ÷ √ class; but no less than 2 per Area) S=Samples=5minimum Per Area; but no less than 1 per locaion
Class	Class	1		10		100		1000		10000		100000
Area (m²)	Area (ft²)	L	S	L	S	L	S	L	S	L	S	L	S
2.4	25	2	5	2	5	2	5	2	5	2	5	2	5
9.3	100	4	5	4	5	4	5	4	5	2	5	2	5
20.9	225	9	9	9	9	9	9	8	8	3	5	2	5
37.2	400	16	16	16	16	16	16	13	13	4	5	2	5
83.7	900	36	36	36	36	36	36	29	29	9	9	3	5
232.3	2500	100	100	100	100	100	100	79	79	25	25	8	8
929.0	10000	400	400	400	400	400	400	316	316	100	100	32	32
The Area are examples and to be used only for reference